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多量程傳感器配置：提供1mm、2mm、28mm等多種垂直量程選項，滿足從微小結構到較大起伏表面的測量需求。其中1mm量程下分辨率低至4nm，寬范圍傳感器（28mm量程）分辨率達426nm，可兼顧精密加工零件的粗糙度檢測與常規工業部件的輪廓測量。水平方向配備50mm驅動行程，配合0.5μm的高密度采樣間隔，能有效捕捉刀痕、微裂紋、邊緣輪廓等微小特征，同時縮短無效測量區域，提升小零件測量效率。

超高直線度基準：驅動系統直線度誤差低至0.20μm/20mm，部分型號優于0.30μm/50mm，為大尺寸工件的波紋度、宏觀形狀誤差測量提供了可靠基準，支持無滑行器測量模式，即使在大型部件上也能保證數據真實性。

無損測量技術：搭載智能探針壓力控制系統，測量力可調節至0.1mN以下，結合自動調平平臺，能根據軟質材料（如聚合物、光學涂層）、薄膜及高價值精密光學元件的特性動態調節接觸力，避免表面損傷，實現敏感表面的無損測量。